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1
In-TFT-Array-Process Micro Defect Inspection Using Nonlinear Principal Component Analysis
por
Liu, Yi-Hung
,
Wang, Chi-Kai
,
Ting, Yung
,
Lin, Wei-Zhi
,
Kang, Zhi-Hao
,
Chen, Ching-Shun
,
Hwang, Jih-Shang
Publicado 2009
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