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1
Oxygen Recombination Probability Data for Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of SiO(2) and TiO(2)
por
Arts, Karsten
,
Deijkers, Sanne
,
Puurunen, Riikka L.
,
Kessels, Wilhelmus M. M.
,
Knoops, Harm C. M.
Publicado 2021
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