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Frömel, Jörg
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1
Technological Platform for Vertical Multi-Wafer Integration of Microscanners and Micro-Optical Components
por
Bargiel, Sylwester
,
Baranski, Maciej
,
Wiemer, Maik
,
Frömel, Jörg
,
Wang, Wei-Shan
,
Gorecki, Christophe
Publicado 2019
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