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1
Wafer-Level Vacuum-Packaged Translatory MEMS Actuator with Large Stroke for NIR-FT Spectrometers
por
Sandner, Thilo
,
Gaumont, Eric
,
Graßhoff, Thomas
,
Rieck, Andreas
,
Seifert, Tobias
,
Auböck, Gerald
,
Grahmann, Jan
Publicado 2020
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