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Título
1
CMOS-Integrated Film Bulk Acoustic Resonators for Label-Free Biosensing
por
Nirschl, Martin
,
Rantala, Arto
,
Tukkiniemi, Kari
,
Auer, Sanna
,
Hellgren, Ann-Charlotte
,
Pitzer, Dana
,
Schreiter, Matthias
,
Vikholm-Lundin, Inger
Publicado 2010
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