Plasma-Assisted Nanofabrication: The Potential and Challenges in Atomic Layer Deposition and Etching

por Chiappim, William, Neto, Benedito Botan, Shiotani, Michaela, Karnopp, Júlia, Gonçalves, Luan, Chaves, João Pedro, Sobrinho, Argemiro da Silva, Leitão, Joaquim Pratas, Fraga, Mariana, Pessoa, Rodrigo
Publicado 2022