Mostrando 1 - 3 Resultados de 3 Para Buscar 'Kiuchi, Masato', tiempo de consulta: 0.12s Limitar resultados
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    Low energy Si(+), SiCH(5)(+), or C(+) beam injections to silicon substrates during chemical vapor deposition with dimethylsilane
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    Identification of fragment ions produced by the decomposition of tetramethyltin and the production of low-energy Sn(+) ion beam
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    Low-energy Ar(+) and N(+) ion beam induced chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane for the formation of nitrogen containing SiC and carbon containing SiN films
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