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1
Phase Formation and High-Temperature Stability of Very Thin Co-Sputtered Ti-Al and Multilayered Ti/Al Films on Thermally Oxidized Si Substrates
por
Seifert, Marietta
,
Lattner, Eric
,
Menzel, Siegfried B.
,
Oswald, Steffen
,
Gemming, Thomas
Publicado 2020
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