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1
Wafer-Level-Based Open-Circuit Sensitivity Model from Theoretical ALEM and Empirical OSCM Parameters for a Capacitive MEMS Acoustic Sensor
por
Lee, Jaewoo
,
Im, Jong-Pil
,
Kim, Jeong-Hun
,
Lim, Sol-Yee
,
Moon, Seung-Eon
Publicado 2019
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