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Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
por
Lindroos, Veikko
Publicado 2010
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2
Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
por
Tilli, Markku
,
Motooka, Teruaki
,
Airaksinen, Veli-Matti
,
Franssila, Sami
,
Paulasto-Krockel, Mervi
,
Lindroos, Veikko
Publicado 2015
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