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1
Electro-Physical Technique for Post-Fabrication Measurements of CMOS Process Layer Thicknesses
por
Marshall, Janet
C.
,
Vernier, P. Thomas
Publicado 2007
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2
MEMS Young’s Modulus and Step Height Measurements With Round Robin Results
por
Marshall, Janet
,
Allen, Richard A.
,
McGray, Craig D.
,
Geist, Jon
Publicado 2010
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