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McArdle, Conor
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1
Dimension Reduction of Multivariable Optical Emission Spectrometer Datasets for Industrial Plasma Processes
por
Yang, Jie
,
McArdle, Conor
,
Daniels, Stephen
Publicado 2013
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2
Similarity Ratio Analysis for Early Stage Fault Detection with Optical Emission Spectrometer in Plasma Etching Process
por
Yang, Jie
,
McArdle, Conor
,
Daniels, Stephen
Publicado 2014
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