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1
On the Formation of Black Silicon Features by Plasma-Less Etching of Silicon in Molecular Fluorine Gas
por
Kafle, Bishal
,
Ridoy, Ahmed Ismail
,
Miethig, Eleni
,
Clochard, Laurent
,
Duffy, Edward
,
Hofmann, Marc
,
Rentsch, Jochen
Publicado 2020
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