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3Formation of a Complex Topologies of SAW-Based Inertial Sensors by Laser Thin Film Local Evaporationpor Kukaev, Alexander, Lukyanov, Dmitry, Mikhailenko, Denis, Safronov, Daniil, Shevchenko, Sergey, Venediktov, Vladimir, Vlasov, Andrey
Publicado 2020
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