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1
High Rate Deposition of Piezoelectric AlScN Films by Reactive Magnetron Sputtering from AlSc Alloy Targets on Large Area
por
Barth, Stephan
,
Schreiber, Tom
,
Cornelius, Steffen
,
Zywitzki, Olaf
,
Modes, Thomas
,
Bartzsch, Hagen
Publicado 2022
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