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Mukhopadhyay, Biswajit
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Título
1
A WSi–WSiN–Pt Metallization Scheme for Silicon Carbide-Based High Temperature Microsystems
por
Ngo, Ha-Duong
,
Mukhopadhyay, Biswajit
,
Mackowiak, Piotr
,
Kröhnert, Kevin
,
Ehrmann, Oswin
,
Lang, Klaus-Dieter
Publicado 2016
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