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Puźniak, Mirosław
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1
Studies of Electrical Parameters and Thermal Stability of HiPIMS Hafnium Oxynitride (HfO(x)N(y)) Thin Films
por
Puźniak, Mirosław
,
Gajewski, Wojciech
,
Seweryn, Aleksandra
,
Klepka, Marcin T.
,
Witkowski, Bartłomiej S.
,
Godlewski, Marek
,
Mroczyński, Robert
Publicado 2023
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