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1
In-Situ Temperature Measurement on CMOS Integrated Micro-Hotplates for Gas Sensing Devices
por
Deluca, Marco
,
Wimmer-Teubenbacher, Robert
,
Mitterhuber, Lisa
,
Mader, Johanna
,
Rohracher, Karl
,
Holzer, Marco
,
Köck, Anton
Publicado 2019
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