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Shcheglov, Mikhail P.
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1
Growth Mechanism of Semipolar AlN Layers by HVPE on Hybrid SiC/Si(110) Substrates
por
Koryakin, Alexander A.
,
Kukushkin, Sergey A.
,
Osipov, Andrey V.
,
Sharofidinov, Shukrillo Sh.
,
Shcheglov, Mikhail P
.
Publicado 2022
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