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1
Cavity-BOX SOI: Advanced Silicon Substrate with Pre-Patterned BOX for Monolithic MEMS Fabrication
por
Kluba, Marta Maria
,
Li, Jian
,
Parkkinen, Katja
,
Louwerse, Marcus
,
Snijder, Jaap
,
Dekker, Ronald
Publicado 2021
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