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1
Investigating the Trimethylaluminium/Water ALD Process on Mesoporous Silica by In Situ Gravimetric Monitoring
por
Strempel, Verena E
.
,
Knemeyer, Kristian
,
Naumann d’Alnoncourt, Raoul
,
Driess, Matthias
,
Rosowski, Frank
Publicado 2018
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