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Tan, Baimei
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1
Effect of ethylenediamine on CMP performance of ruthenium in H(2)O(2)-based slurries
por
Xu, Yi
,
Ma, Tengda
,
Liu, Yuling
,
Tan, Baimei
,
Zhang, Shihao
,
Wang, Yazhen
,
Song, Guoqiang
Publicado 2021
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