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Ulin-Avila, Erick
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Título
1
Maskless Plasmonic Lithography at 22 nm Resolution
por
Pan, Liang
,
Park, Yongshik
,
Xiong, Yi
,
Ulin-Avila, Erick
,
Wang, Yuan
,
Zeng, Li
,
Xiong, Shaomin
,
Rho, Junsuk
,
Sun, Cheng
,
Bogy, David B.
,
Zhang, Xiang
Publicado 2011
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