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Título
1
Design and Fabrication of a Slanted-Beam MEMS Accelerometer
por
Xu, Wei
,
Yang, Jie
,
Xie, Guofen
,
Wang, Bin
,
Qu, Mingshan
,
Wang, Xuguang
,
Liu, Xianxue
,
Tang, Bin
Publicado 2017
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