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Yeom, Hee-Jung
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Título
1
Role of Oxygen in Amorphous Carbon Hard Mask Plasma Etching
por
Yeom, Hee-Jung
,
Yoon, Min Young
,
Choi, Daehan
,
Lee, Youngseok
,
Kim, Jung-Hyung
,
You, Shin-Jae
,
Lee, Hyo-Chang
Publicado 2023
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