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1
Atomic-Layer-Deposition of Indium Oxide Nano-films for Thin-Film Transistors
por
Ma, Qian
,
Zheng, He-Mei
,
Shao, Yan
,
Zhu, Bao
,
Liu, Wen-Jun
,
Ding, Shi-Jin
,
Zhang, David Wei
Publicado 2018
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