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1
Micromechanical mode-localized electric current sensor
por
Li, Han
,
Zhang, Zhao
,
Zu, Luhan
,
Hao, Yongcun
,
Chang, Honglong
Publicado 2022
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2
Design of a Capacitive MEMS Accelerometer with Softened Beams
por
Wang, Chenggang
,
Hao, Yongcun
,
Sun, Zheng
,
Zu, Luhan
,
Yuan, Weizheng
,
Chang, Honglong
Publicado 2022
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