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Fabrication engineering at the micro- and nanoscale /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
New York :
Oxford University Press,
2008.
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| Edición: | 3rd ed. |
| Colección: | The Oxford series in electrical and computer engineering
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://www.loc.gov/catdir/toc/ecip0714/2007013450.html |
| Notas: | Edición revisada de: The science and engineering of microelectronic fabrication. 2nd. ed. |
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| Descripción Física: | xiv, 647 p. : il., tablas ; 24 cm. |
| Bibliografía: | Incluye bibliografías e índice. |
| ISBN: | 9780195320176 0195320174 |