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Fabrication engineering at the micro- and nanoscale /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
New York :
Oxford University Press,
2008.
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| Edición: | 3rd ed. |
| Colección: | The Oxford series in electrical and computer engineering
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://www.loc.gov/catdir/toc/ecip0714/2007013450.html |