Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models /

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Bechtold, T. (Tamara)
Otros Autores: Korvink, J. G. (Jan G.), Rudnyi, E. B. (Evgenii B.)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Berlin ; New York : Springer, 2007.
Colección:Microtechnology and MEMS,
Materias:
Dispositivos electromecánicos > Modelos matemáticos.
Simulación por computadores.
Acceso en línea:Table of contents only
Contributor biographical information
Publisher description
Umschlagtext
Inhaltstext

MARC

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245 1 0 |a Fast simulation of electro-thermal MEMS :  |b efficient dynamic compact models /  |c T. Bechtold, E.B. Rudnyi, J.G. Korvink. 
260 |a Berlin ;  |a New York :  |b Springer,  |c 2007. 
300 |a xi, 180 p. :  |b il. (algunas col.) ;  |c 24 cm. 
490 0 0 |a Microtechnology and MEMS,  |x 1439-6599 
504 |a Bibliografía: p. [143]-155. 
650 4 |a Dispositivos electromecánicos  |x Modelos matemáticos. 
650 4 |a Simulación por computadores. 
700 1 |a Korvink, J. G.  |q (Jan G.) 
700 1 |a Rudnyi, E. B.  |q (Evgenii B.) 
856 4 1 |3 Table of contents only  |u http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0707/2006930117.html 
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