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Scaling issues and design of MEMS /
Autor principal: | |
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Otros Autores: | , |
Formato: | Libro |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ :
John Wiley & Sons,
c2007.
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Materias: | |
Acceso en línea: | Publisher description Table of contents only Contributor biographical information Table of contents |
Descripción Física: | xiii, 229 p. : il. ; 24 cm. |
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Bibliografía: | Incluye bibliografías. |
ISBN: | 9780470016992 047001699X |