MEMS reliability

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Hartzell, Allyson L. (autor)
Otros Autores: Senturia, Stephen D. (prologuista), Da Silva, Mark G. (autor), Shea, Herbert R. (autor)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: New York : Springer, 2010
Edición:1st edition.
Colección:Mems reference shelf
Materias:
Sistemas microelectromecánicos
Descripción
Descripción Física:xiii, 291 páginas : ilustraciones ; 24 cm.
Bibliografía:Incluye bibliografías e índice.
ISBN:9781461427360

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