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Aspectos fundamentales en la descomposición de plasmas de silano para producción de silicio amorfo higrogenado. a-Si:H.
| Autor principal: | |
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| Formato: | Tesis Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Xalapa
:Facultad de Física, Universidad Veracruzana,
1987
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| Materias: |