Sputtering by particle bombardment

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Andersen, Hans Henrik, Bay, H L, Roosendaal, H E, Taylor-Robinson, M M, Behrisch, Rainer
Lenguaje:eng
Publicado: Springer 1981
Materias:
Engineering
Acceso en línea:https://dx.doi.org/10.1007/3-540-10521-2
http://cds.cern.ch/record/100399
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