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VLSI planarization: methods, models, implementation
Autores principales: | , , |
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Lenguaje: | eng |
Publicado: |
Springer
1997
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Materias: | |
Acceso en línea: | https://dx.doi.org/10.1007/978-94-011-5740-7 http://cds.cern.ch/record/1620508 |