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Direct evidence for substitutional ion-implanted indium dopants in silicon
Autores principales: | , , , , , , |
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Lenguaje: | eng |
Publicado: |
1986
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Materias: | |
Acceso en línea: | https://dx.doi.org/10.1103/PhysRevLett.57.2283 http://cds.cern.ch/record/173313 |
Descripción no disponible. |