Handbook of ion beam processing technology: principles, deposition, film modification and synthesis

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Cuomo, Jerome J, Rossnagel, Stephen M, Kaufman, Harold R
Lenguaje:eng
Publicado: William Andrew 1989
Materias:
Engineering
Acceso en línea:http://cds.cern.ch/record/2121581

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