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A metastable phase of ion-implanted antimony in silicon created by incoherent-light annealing
Autor principal: | |
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Lenguaje: | eng |
Publicado: |
1984
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Materias: | |
Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/286662 |
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Publicado: |
1984
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Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/286662 |