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High energy metal ion implantation using "Magis", a novel, broad-beam, Marx-generator-based ion source
| Autores principales: | , , , |
|---|---|
| Lenguaje: | eng |
| Publicado: |
1996
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/316108 |
| Descripción no disponible. |