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High energy metal ion implantation using "Magis", a novel, broad-beam, Marx-generator-based ion source

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Anders, A, Brown, I G, Dickinson, M R, MacGill, R A
Lenguaje:eng
Publicado: 1996
Materias:
Acceso en línea:http://cds.cern.ch/record/316108

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