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E-MRS 1998 Spring Meeting Symposium J on Ion Implantation into Semiconductors, Oxides and Ceramics

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Lindner, Jörg K N, Svensson, Bengt G, Hemment, Peter F L, Atwater, Harry A
Lenguaje:eng
Publicado: 1999
Materias:
Acceso en línea:http://cds.cern.ch/record/376781