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Behaviour Of Gas Conditions During Vacuum Arc Discharges Used For Deposition Of Thin Films
Autores principales: | , , , , , , , , , |
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Lenguaje: | eng |
Publicado: |
2006
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Materias: | |
Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/938414 |
Descripción no disponible. |