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MEMS and NEMS: Systems, Devices, and Structures
Autor principal: | |
---|---|
Lenguaje: | eng |
Publicado: |
CRC Press
2002
|
Materias: | |
Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/994701 |
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Publicado: |
CRC Press
2002
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Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/994701 |