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Editorial for Special Issue “Piezoelectric Aluminium Scandium Nitride (AlScN) Thin Films: Material Development and Applications in Microdevices”
Autor principal: | |
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Formato: | Online Artículo Texto |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
MDPI
2023
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Materias: | |
Acceso en línea: | https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC10223696/ https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/37241690 http://dx.doi.org/10.3390/mi14051067 |
Sumario: |
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