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    “…TiSiCN coatings have been obtained by anode evaporation of titanium and the decomposition of hexamethyldisilazane in an arc discharge, using a self-heated hollow cathode, at the pressure rate of 1 mTorr of the Ar+N(2) gas mixture. …”
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    por Herodiano s. III
    Publicado 1985
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