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Analysis and Design Principles of MEMS Devices
Autor principal: | |
---|---|
Lenguaje: | eng |
Publicado: |
Elsevier
2005
|
Materias: | |
Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/1034649 |
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Lenguaje: | eng |
Publicado: |
Elsevier
2005
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Acceso en línea: | http://cds.cern.ch/record/1034649 |