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Langmuir probe studies and ion energies in gas discharges used for cleaning vacuum chambers
Autores principales: | , , , , , |
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Lenguaje: | eng |
Publicado: |
1981
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Materias: | |
Acceso en línea: | https://dx.doi.org/10.1016/S0042-207X(81)80040-1 http://cds.cern.ch/record/134566 |