Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Lindroos, Veikko
Lenguaje:eng
Publicado: William Andrew 2010
Materias:
XX
Acceso en línea:http://cds.cern.ch/record/1539116

Internet

http://cds.cern.ch/record/1539116

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