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Lecture notes on principles of plasma processing
| Autores principales: | , |
|---|---|
| Lenguaje: | eng |
| Publicado: |
Springer
2003
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://dx.doi.org/10.1007/978-1-4615-0181-7 http://cds.cern.ch/record/1624332 |