Silicon wet bulk micromachining for MEMS

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Pal, Prem, Sato, Kazuo
Lenguaje:eng
Publicado: Pan Stanford Publishing 2017
Materias:
Engineering
Acceso en línea:http://cds.cern.ch/record/2269843

Internet

http://cds.cern.ch/record/2269843

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